สัปดาห์ก่อนได้ไปที่ Forschungszentrum Jülich (FZJ) ข้อมูลเบื้องต้นคือ เป็นสถาบันวิจัยระดับชาติของเยอรมันที่ทำวิจัยหลายด้านมาก มีพนักงานประมาณ 6,800 คน มีสถาบัน 10 แห่งและสถาบันย่อย 80 แห่ง ถือเป็นหนึ่งในสถาบันวิจัยที่ใหญ่ที่สุดในยุโรป ข้างในเปรียบเหมือนเป็นเมืองอีกหนึ่งเลยทีเดียว มีโรงพยาบาล มีสถานีดับเพลิง และสิ่งจำเป็นอื่นๆอยู่ภายใน
เราไปทำธุระอย่างอื่น แต่เนื่องจากว่าเพื่อนร่วมงานเคยทำงานที่นั้นและคุ้นเคยกับคนที่นั้นอย่างดี เขารู้ว่าเราสนใจงานทางด้าน Miro and Nanofabrication เลยอาสาพาทัวร์ตึกคลีนรูมของที่นั้น
Helmholtz Nano Facility (HNF) คือห้องคลีนรูมขนาด 1200 ตร.ม. ตามมาตรฐาน ISO 1-3 ทำงานตามมาตรฐาน VDI DIN 2083 และ DIN EN ISO 14644 ได้รับการรับรองมาตรฐาน ISO 9001 ที่ศูนย์รับทั้งงานร่วมวิจัยภายในองค์กร และรับบริการภายนอกด้วย มีบริษัทเทคโนโลยีหลายแห่งเคยเข้ามาทำงานในนี้และบางบริษัทก็ยังเช่าห้องอยู่เพื่อทำงานวิจัยโดยใช้ Facility ของศูนย์ในการทำงาน หลายๆกลุ่มวิจัยก็ใช้ที่นี้สร้างชิพสำหรับควอนตัมคอมพิวเตอร์
ห้องคลีนรูมอธิบายให้เข้าใจง่ายๆคือห้องที่ควบคุมให้ห้องมีฝุ่นน้อยที่สุด การสร้างชิพหรือวงจรที่มีความละเอียดในระดับนาโน อนุภาคที่ปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยก็ทำให้อุปกรณ์ที่สร้างอยู่เสียหายได้ จึงจำเป็นต้องสร้างห้องที่มีฝุ่นปนเปื้อนในอากาศให้น้อยที่สุด (ความจริงควบคุมหมดทั้ง อนุภาค ความชื่น อุณหภูมิ แรงดัน ทิศทางและการไหลของอากาศ)
คลีนรูมของที่นี้ต้องเรียกว่าอลังการมาก อาจเรียกได้ว่าทั้งตึกเป็นส่วนหนึ่งของคลีนรูม โดยสร้างตึกขึ้นมาครอบตึกอีกทีเพื่อให้สามารถควบคุมสภาพแวดล้อมภายในได้ดียิ่งขึ้น เราจึงสามารถเดินชมห้องได้โดยรอบผ่านตรงจุดเชื่อมตึกที่ครอบและตึกด้านใน ด้านบนเป็นระบบควบคุมอากาศและอุณหภูมิ ชั้นกลางคือส่วนของห้องคลีนรูม ที่แบ่งย่อยเป็นห้องตามจุดประสงค์ในการทำงาน ด้านล่างเป็นส่วนของซัพพลาย เช่น ไฟฟ้า น้ำ แก๊ส ปั๊ม ฯลฯ เป็นระบบที่ออกแบบมาได้ดีมากๆ ลิสต์เครื่องมือมีพร้อมทุกอย่าง ตามไปดูในลิงค์ ภายในนี้สามารถออกแบบ ผลิตชิพ และร่วมทั้งทดสอบ งานจบได้ในที่นี่ เครื่องมือค่อนข้างใหม่มาก จนหลายคนที่นี้เรียกกันขำๆว่า โชว์รูมของ Oxford Instructions (บริษัทที่ออกแบบและผลิตอุปกรณ์งานทางด้านซิมคอนดักเตอร์) การได้เดินทัวร์ดูอุปกรณ์และระบบที่ออกแบบมาอย่างดีถือว่าเป็นประสบการณ์ที่ดีทีเดียว คาดว่าน่าจะได้มีโอกาสเข้าไปใช้ Facility ของที่นี่ในอีกไม่นาน
เอาประสบการณ์มาเล่าให้ฟังประมาณนี้แล้วกันครับ
ปล. อยากเห็นศูนย์วิจัยของ TSMC จริงๆว่าจะอลังการขนาดไหนนะ
